第304章 集成电路(2 / 4)
繁琐的检查被显微镜检查直接替代,只要其焊盘有深度就成,这样做虽然无法直接测出数值,但能够确定刻蚀的焊盘拥有可镀深度,为接下来的电镀工艺提供保障。
华为实验室里的第一层电镀,需要在焊盘中镀上镍金作为接下电镀的衬托,其厚度大约0.5微米,不是不能再镀厚一些,而是现在光刻的深度,估计只有1至1.5微米深,0.5微米已经是极限值了,后面还要薄膜沉积形成电路导体,最后再镀铜形成导电通道。
薄膜沉积采用的是二氧化硅或多晶硅,也就是常说的pn结,这方面天和电子已经有相关的技术,所以华为直接按照以有标准进行掺杂然后通过气体沉积法,将其沉积到表面就成,而其制作水平相比起溅射法相对要简单一些。
薄膜沉积完成以后,再涂覆一层聚甲基丙烯酸甲酯光刻胶,这也是当下新中国化学技术条件下能够生产出来的唯一光刻胶,该化学材料1931年就已经制造了出来,因此自己造还是买都不是问题。
一套工艺下来,已经花去了整整三天的时间,接着硅片再次被转移到光刻研究所,开始第二次光刻,由于光刻机的刻蚀深度有限,这一次的光刻需要增大光源功率,因此采用了60瓦紫外线光源的光刻机用新的掩膜版进行光刻,形成半导体电路图形,而这对于定位精度、光刻技术参数的要求更高,--不小心就会直接前功尽弃。
最后十块硅片完成了二次光刻,又是一套清洗工艺,-番检查下来,十块硅片中,只用一块勉强合格,其它的问题后续再来分析,现在要做的是涂绝缘体,而后手工进行元器件的堆叠,是的就是手工堆叠,因为目前没有这样的机器,甚至元器件都是由微电子研究所根据功能需要临时制作的。
1956年5月5日,劳动节后的第四天,华为半导体研究所里,世界上第一块真正意义上的集成电路诞生,它比美国基尔1958年的集成电路先进了整整一个半时代,达到了六十年代中后期的水平。
集成电路研究所里,王守觉、林兰英、夏培肃、吴良有、唐九华以及华为总经理何光远,还有一群研究室里的研究员,大家将王守觉围在中间,静静的等待着。
只见王守党重重的呼了一口气,而后戴.上了手术用皮质手套,小心的将硅晶片放到了测试架上,拿起指针式万用表的测笔,靠近硅片的引脚开始了测量,只见随着他的动作,万用表上的指针不断的摇晃,一连将所有引脚全部测完,而后又重复了三遍,这才放下了测笔。
他扭过头对身旁围着的人,淡淡的说道:”导电无异常,换人测试。”
林兰英、夏培肃、唐九华到最后何光远亲自上手,五个人反复测试了几遍,结果显示导电没有任何问题,随着何光远一句:“导电无异常。”顿时研究室里响起了震耳欲聋的掌声和欢呼声。
“成功了!”“我们成功了!”“祖国万岁!”一阵阵欢呼声响了起来。
此时此刻,不管是唐九华还是王守觉,两人浑身都在微微的颤抖着,这种激动的心情,也许不在这个行业的人不明白,但在这个实验室里的所有人都知道,这意味着什么,它预示着,人类在半导体和电子学领域迎来了全新的时代。
“我这就上报集团总部!“何光远激动得双颊通红。
阳光明媚,风和日丽,田野间一片绿意盎然,此刻,一辆吉普车拉着滚滚烟尘,极速的行驶在公路之上,车辆呼的-下,从路边的一只青蛙旁越过,吓得蛙儿,-连几蹦,滚到了田沟里。
华为集成电路研究所,方叶大步流星的走了进来,刚刚进门,他便急切的高声问道:“成了吗?东西在哪里?
王守觉抿了抿嘴,抬手朝着面前的台子上--指说道:“在这里!
“手套!quot;方叶喊了一声,王守觉连忙将自己手上的手套脱了下来,递给了方叶,他也没有再意迅速的戴.上手套,而后上前观察起来。
这块硅晶片尺寸很大,长宽为3*4厘米,但厚度仅为2毫米的样子,由于没有完整的封装,它看上去有些丑陋,当然这是相对而言的,如果采用塑料外壳-封装,那妥妥的就是未来ic的样子,其拥有八个引脚。
“能拿起来吗?”方叶双手叉了叉手套朝王守觉问道。
“可以,但它很脆,需要轻拿轻放。quot;王守觉说道。
方叶点了点头,坐到了凳子上,小心翼翼的拿起观察了一番,而后又轻轻的放了下来,随即起身说道:quot;再测试一遍,我要看看导电情况。”是。quot;王守觉连忙做了下来,又打开测试仪器开始了测试,最后报道:“导电无异常。”
“它刻蚀的是哪方面用的电路?“方叶指着集成芯片问道。
王守觉回道:“没有具体的用途方面,我们设计了一个简易的开关电路,可以驱动电灯开关或一般有微型电路开关方面的电路需求都可以。”
“线路版有制作吗?”“有,两个月前就制作好了。”
“焊上去,看看效果!quot;方叶说道。
quot;“....”王守觉说道:“董事长,这是我们制作的第一块集成电路硅晶片,确定要焊上去吗?
方叶瞬间明白了是什么意思,按照现在的风格,这样重大的进步,是需要向国家报喜的,这要是焊上去了,到时报喜就少了实物,而且这枚晶片的历史意义重大,将来铁定是要进博物馆的。
方叶想了想,便说道:“不焊也行,功能展示没问题吧?”“那没问题,接下线就好。”王守觉微笑着回道。
很快一块插着电子元器件,上面装着好几个灯炮的电路板被拿了过来,王守觅亲自上手,将导线与线路版连到了一起,然后接上了一切干电池,一切准备工作完毕,他说道:“现在可以展示了,只要打开开关,按照我们设计的电路,这排电灯会每隔一一秒依次亮起。” ↑返回顶部↑
华为实验室里的第一层电镀,需要在焊盘中镀上镍金作为接下电镀的衬托,其厚度大约0.5微米,不是不能再镀厚一些,而是现在光刻的深度,估计只有1至1.5微米深,0.5微米已经是极限值了,后面还要薄膜沉积形成电路导体,最后再镀铜形成导电通道。
薄膜沉积采用的是二氧化硅或多晶硅,也就是常说的pn结,这方面天和电子已经有相关的技术,所以华为直接按照以有标准进行掺杂然后通过气体沉积法,将其沉积到表面就成,而其制作水平相比起溅射法相对要简单一些。
薄膜沉积完成以后,再涂覆一层聚甲基丙烯酸甲酯光刻胶,这也是当下新中国化学技术条件下能够生产出来的唯一光刻胶,该化学材料1931年就已经制造了出来,因此自己造还是买都不是问题。
一套工艺下来,已经花去了整整三天的时间,接着硅片再次被转移到光刻研究所,开始第二次光刻,由于光刻机的刻蚀深度有限,这一次的光刻需要增大光源功率,因此采用了60瓦紫外线光源的光刻机用新的掩膜版进行光刻,形成半导体电路图形,而这对于定位精度、光刻技术参数的要求更高,--不小心就会直接前功尽弃。
最后十块硅片完成了二次光刻,又是一套清洗工艺,-番检查下来,十块硅片中,只用一块勉强合格,其它的问题后续再来分析,现在要做的是涂绝缘体,而后手工进行元器件的堆叠,是的就是手工堆叠,因为目前没有这样的机器,甚至元器件都是由微电子研究所根据功能需要临时制作的。
1956年5月5日,劳动节后的第四天,华为半导体研究所里,世界上第一块真正意义上的集成电路诞生,它比美国基尔1958年的集成电路先进了整整一个半时代,达到了六十年代中后期的水平。
集成电路研究所里,王守觉、林兰英、夏培肃、吴良有、唐九华以及华为总经理何光远,还有一群研究室里的研究员,大家将王守觉围在中间,静静的等待着。
只见王守党重重的呼了一口气,而后戴.上了手术用皮质手套,小心的将硅晶片放到了测试架上,拿起指针式万用表的测笔,靠近硅片的引脚开始了测量,只见随着他的动作,万用表上的指针不断的摇晃,一连将所有引脚全部测完,而后又重复了三遍,这才放下了测笔。
他扭过头对身旁围着的人,淡淡的说道:”导电无异常,换人测试。”
林兰英、夏培肃、唐九华到最后何光远亲自上手,五个人反复测试了几遍,结果显示导电没有任何问题,随着何光远一句:“导电无异常。”顿时研究室里响起了震耳欲聋的掌声和欢呼声。
“成功了!”“我们成功了!”“祖国万岁!”一阵阵欢呼声响了起来。
此时此刻,不管是唐九华还是王守觉,两人浑身都在微微的颤抖着,这种激动的心情,也许不在这个行业的人不明白,但在这个实验室里的所有人都知道,这意味着什么,它预示着,人类在半导体和电子学领域迎来了全新的时代。
“我这就上报集团总部!“何光远激动得双颊通红。
阳光明媚,风和日丽,田野间一片绿意盎然,此刻,一辆吉普车拉着滚滚烟尘,极速的行驶在公路之上,车辆呼的-下,从路边的一只青蛙旁越过,吓得蛙儿,-连几蹦,滚到了田沟里。
华为集成电路研究所,方叶大步流星的走了进来,刚刚进门,他便急切的高声问道:“成了吗?东西在哪里?
王守觉抿了抿嘴,抬手朝着面前的台子上--指说道:“在这里!
“手套!quot;方叶喊了一声,王守觉连忙将自己手上的手套脱了下来,递给了方叶,他也没有再意迅速的戴.上手套,而后上前观察起来。
这块硅晶片尺寸很大,长宽为3*4厘米,但厚度仅为2毫米的样子,由于没有完整的封装,它看上去有些丑陋,当然这是相对而言的,如果采用塑料外壳-封装,那妥妥的就是未来ic的样子,其拥有八个引脚。
“能拿起来吗?”方叶双手叉了叉手套朝王守觉问道。
“可以,但它很脆,需要轻拿轻放。quot;王守觉说道。
方叶点了点头,坐到了凳子上,小心翼翼的拿起观察了一番,而后又轻轻的放了下来,随即起身说道:quot;再测试一遍,我要看看导电情况。”是。quot;王守觉连忙做了下来,又打开测试仪器开始了测试,最后报道:“导电无异常。”
“它刻蚀的是哪方面用的电路?“方叶指着集成芯片问道。
王守觉回道:“没有具体的用途方面,我们设计了一个简易的开关电路,可以驱动电灯开关或一般有微型电路开关方面的电路需求都可以。”
“线路版有制作吗?”“有,两个月前就制作好了。”
“焊上去,看看效果!quot;方叶说道。
quot;“....”王守觉说道:“董事长,这是我们制作的第一块集成电路硅晶片,确定要焊上去吗?
方叶瞬间明白了是什么意思,按照现在的风格,这样重大的进步,是需要向国家报喜的,这要是焊上去了,到时报喜就少了实物,而且这枚晶片的历史意义重大,将来铁定是要进博物馆的。
方叶想了想,便说道:“不焊也行,功能展示没问题吧?”“那没问题,接下线就好。”王守觉微笑着回道。
很快一块插着电子元器件,上面装着好几个灯炮的电路板被拿了过来,王守觅亲自上手,将导线与线路版连到了一起,然后接上了一切干电池,一切准备工作完毕,他说道:“现在可以展示了,只要打开开关,按照我们设计的电路,这排电灯会每隔一一秒依次亮起。” ↑返回顶部↑